Офіційний веб сайт

Безконтактний тривимірний нанопрофілометр

м8

 

Автор:Закієв В.І.

Представлена Національним авіаційним університетом

Розроблено безконтактний тривимірний нанопрофіломер, та вирішено важливу науково-технічну проблему реєстрації та візуалізації тривимірної топографії поверхні з нанометровою роздільною здатністю з послідуючим розрахунком параметрів шорсткості поверхні.

Розроблено лінійний прецизійний  наноактюатор еталонного дзеркала з нанометричним шагом сканування за допомогою якого здійснюється реєстрація топографії поверхні. Розроблено методику та програмне забезпечення для автоматичного юстирування приладу. В роботі запропоновано алгоритми усунення лінійного тренду та розрахункугеометричних параметрів сегменту кулястої поверхні.

Базуючись на технічних характеристиках розробленого нанопрофілометра обґрунтована можливість його практичного використання для вирішення наступних науково-практичних завдань: контролю геометричних параметрів оптичної поверхні торця ферула оптоволокна; контролю якості поверхні інтегральних мікросхем; контролю якості поверхні головок та ацетабулярних чашок ендопротезу кульшового суглобу; аналізу зміни рельєфу поверхні матеріалів при втомному навантаженні; використання при наноіндентуванні; використання для точного  виміру зносу матеріалів. 

 

Кількість публікацій: 28, в т.ч. 14 статей, 14 тез доповідей.