Номер роботи - M 8 ПОДАНА
Автори:
Бесконтактный трехмерный нанопрофилометр
Автор: Закиев В.И.
Noncontact three dimensional nanoprofilometer
Author: Zakiev V.І.
Автор:Закієв В.І.
Представлена Національним авіаційним університетом
Розроблено безконтактний тривимірний нанопрофіломер, та вирішено важливу науково-технічну проблему реєстрації та візуалізації тривимірної топографії поверхні з нанометровою роздільною здатністю з послідуючим розрахунком параметрів шорсткості поверхні.
Розроблено лінійний прецизійний наноактюатор еталонного дзеркала з нанометричним шагом сканування за допомогою якого здійснюється реєстрація топографії поверхні. Розроблено методику та програмне забезпечення для автоматичного юстирування приладу. В роботі запропоновано алгоритми усунення лінійного тренду та розрахункугеометричних параметрів сегменту кулястої поверхні.
Базуючись на технічних характеристиках розробленого нанопрофілометра обґрунтована можливість його практичного використання для вирішення наступних науково-практичних завдань: контролю геометричних параметрів оптичної поверхні торця ферула оптоволокна; контролю якості поверхні інтегральних мікросхем; контролю якості поверхні головок та ацетабулярних чашок ендопротезу кульшового суглобу; аналізу зміни рельєфу поверхні матеріалів при втомному навантаженні; використання при наноіндентуванні; використання для точного виміру зносу матеріалів.
Кількість публікацій: 28, в т.ч. 14 статей, 14 тез доповідей.
Версія для друку