Вы здесь

Разработка твердых полупроводниковых пленок и покрытий на основе силицидов и боридов


Номер работы - M 36 ПОДАНА

ПредставленоИнститутом проблем материаловедения им. И.Н. Францевича НАН Украины

Автор: к.ф.-м.н. Козак А.А.

 

Целью работы является получение и установление основных механизмов формирования структурных, оптоэлектронных и механических свойств тонких пленок Si-C-N и покрытий системы Al-Mg-B-C в зависимости от параметров осаждения и метода получения и выяснения влияния особенностей межатомного взаимодействия на эти свойства.

На основе реализованного в работе комплексного подхода по изучению влияния метода и параметров осаждения на структурные, оптоэлектронные и физико-механические свойства тонких Si-C-N пленок и покрытий на основе Al-Mg-B получено ряд новых фундаментальных научных результатов, которые способствуют глубокому пониманию влияния процессов роста на свойства пленок и покрытий. Это может быть основой разработки эффективных энергосберегающих технологий осаждения пленок и покрытий с оптимальными свойствами.

Получено термостойкие (до 1000°C) тонкие Si-C-N пленки, которые проявляют твердость до 34 ГПа и одновременно высокую оптическую прозрачность (до 95%) в большой части видимого диапазона, что делает их перспективными материалами для применения в качестве защитных просветляющих покрытий, например, в оптике или солнечной энергетике. Низкая шероховатость поверхности пленок (~0,23 нм) в совокупности с высокими значениями твердости и модуля упругости указывают на возможность их использования для защиты от механического износа деталей в микро- и наноэлектронных механических системах. Выявленная фотолюминесценция аморфных Si-C-N пленок создает основу для дальнейших исследований, направленных на изготовление светодиодов на их основе.

Магнетронным распылением получено твердые Al-Mg-B и Al-Mg-B-C покрытия, которые одновременно проявляют высокую твердость (до 30ГПа), хорошую адгезию и относительно низкий коэффициент трения (~0.08-0.170), что делает их перспективными материалами для использования в качестве, защитных и укрепляющих покрытий в широком спектре приломенений, включая режущие инструменты, приборы, оптические устройства и экраны.

Количество публикаций:25, в т.ч. по тематике работы 11 статей (6 - в зарубежных изданиях),14 тезисов конференций. 10 работ опубликовано в источниках, входящих в базу данных «Scopus».  Согласно базе данных Scopus общее количество ссылок на публикации автора, представленных в работе, составляет 33, h-индекс (за работой) = 3; согласно базе данных Google Shcolar общее количество ссылок - составляет 49, h-индекс (за работой) = 4. 

n/a

n/a

n/a